立式激光干涉儀

可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

立式激光干涉儀產(chǎn)品配置

　　SJ6800激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

立式激光干涉儀產(chǎn)品功能特點(diǎn)

• 可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

• 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

• 可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

• 可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

• 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

• 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

激光干涉儀應用：組裝機床高校、機床直線(xiàn)度測量、機床測量、數據機床校準、機床回轉軸測量、龍門(mén)加工中心測量、激光切割機測量、自動(dòng)化設備測量、長(cháng)導軌測量、加工中心回轉軸測量、測量機床傾斜軸線(xiàn)測量