Easy-laser 激光幾何測量技術(shù)在“平面度測量“中的應用

  我廠(chǎng)某高新產(chǎn)品基座需作平面度，該平面與大地有一75°的傾角，傳統上，我廠(chǎng)大平面測量平面度用拉鋼絲或平面掃描儀的辦法，因撓度和人為誤差的影響，拉鋼絲測量結果精度太低，平面掃描儀只能作接近水平的平面度，故這兩種傳統方法都無(wú)法測量。后來(lái)采用瑞典EASY-LASER™激光幾何測量系統，方法簡(jiǎn)單，測量精度高，為該高新產(chǎn)品如期高質(zhì)量的完成打下良好的基礎?，F將該方法作一介紹。

1.測量原理

采用激光的直線(xiàn)性（無(wú)撓度）的特性，將一旋轉激光發(fā)射器放置在被測平面任一角，調整后將其激光掃過(guò)一個(gè)90度范圍的平面，另有一高精度（0.001mm）接受器 依次按工藝要求在被測平面的分布點(diǎn)上，讀取每一個(gè)位置相對于激光平面垂直于平面方向上的偏移量。在主機里將這些數據記錄后，按工藝要求選擇三點(diǎn)作為基準，這樣，其他點(diǎn)的偏差量就會(huì )計算出來(lái)。

2.軟件數據處理

大量的被測數據經(jīng)主機處理后，可根據不同工藝要求得出相應的結果，如：

NumRef       Value

X1 Y1Ref      0.000  

X1 Y2        -0.070

X1 Y3      0.407

X1 Y4        -0.055

X1 Y5Ref      0.000

X2 Y1      0.136

X2 Y2      0.202

X2 Y3      0.291

X2 Y4      0.052

X2 Y5     -0.181

X3 Y1      0.348

X3 Y2      0.294

X3 Y3      0.069

X3 Y4      0.096

X3 Y5Ref      0.000

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Max         0.407

Min         -0.181

Peak-Peak     0.588

Average level  0.106

Standard dev.  0.139

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Flatness Rms      0.138

①工藝只加墊片， 則選最高三點(diǎn)為基準，其余數據全為負值，負多少，則加多少墊片。

②工藝只能打磨，則選zui低三點(diǎn)基準，其余數據為正值，正多少，則打磨多少。

③工藝既可加墊片，又可打磨，則可優(yōu)化自動(dòng)選三點(diǎn)基準，使其加工量最小。

④關(guān)鍵點(diǎn)在中央區，則可選取中央區為基準。

⑤關(guān)鍵點(diǎn)在邊緣區，則可選邊緣區為基準。

⑥數據結果有平面度有效值，偏差峰峰值，平均平面，標準等參數供選取。

3.激光測量法的優(yōu)點(diǎn)

①高精度，該系統可在R≦40m范圍內，保證0.001mm的精度，傳統的方式一般在0.01—0.1mm精度。

②測量范圍大，因激光無(wú)撓影響，故可測量R≦40m的平面，而傳統方式，這樣大平面根本無(wú)法測試。

③人為誤差小，傳統辦法測量時(shí)，不同操作人員因鋼絲松緊、人工讀數等人為因素，數據受人為因素影響較大。而激光測量法由儀器自動(dòng)讀取數據，人為誤差大大減小。

④強大數據處理功能，見(jiàn)二介紹，而傳統方式數據需要人工處理，工作量大，誤差大。

4．與傳統方法比較