芯片缺陷檢測的兩大方法

一、為什么芯片要做缺陷檢測

一個(gè)芯片的從邏輯設計到完整產(chǎn)出，需要花費大量的人力物力，涉及到各個(gè)學(xué)科之間的緊密配合。芯片封裝缺陷檢測是芯片應用于集成電路的第一步測試，首先物理上的封裝缺陷會(huì )直接導致芯片應用的失效，相當于身xian士卒身先死，先帝創(chuàng )業(yè)未半二中道崩殂。

二、芯片缺陷檢測通常使用哪些方式

目前主流的芯片內部封裝和檢測主要有電子顯微鏡，超聲掃描顯微鏡。

1.電子顯微鏡

電子顯微鏡主要依賴(lài)不同材料之間的密度差異，用射線(xiàn)將芯片穿透后將不同材質(zhì)結構陰影打在底片上面，相當于透視俯視圖，實(shí)在不理解的話(huà)可以在太陽(yáng)下面觀(guān)測自己的影子。但是對于設計更為復雜多層結構的邏輯性芯片就會(huì )產(chǎn)生重影，檢測不到其背后的細微缺陷，縫隙，空洞缺陷等。比較適用于結構簡(jiǎn)單，具有明顯密度差異類(lèi)型芯片。

2.超聲掃描顯微鏡

目前國內自主研發(fā)生產(chǎn)的超聲掃描顯微鏡品牌適用于芯片行業(yè)，超聲掃描顯微鏡檢測原理主要利用了超聲波具有du特的穿透與反射的特質(zhì)，超聲波在傳播的過(guò)程中遇到不同的材料會(huì )形成不同的反射波，且在傳播的介質(zhì)不同，聲速也不同，于是我們就可以利用這種特性向著(zhù)芯片發(fā)射一段超聲波，然后經(jīng)過(guò)電腦的計算得到精準的材料內部缺陷位置。且超聲掃描顯微鏡可做芯片內部分層檢測，這也解決了電子顯微鏡的遇到的問(wèn)題。但是超聲顯微鏡隨著(zhù)頻率的越高，其技術(shù)難度也越為復雜，分辨缺陷的精度也越高，通常芯片行業(yè)對超聲掃描顯微鏡的掃描頻率在50MHZ以上，而國內廠(chǎng)家生產(chǎn)的設備基本都是50MHZ以下，所以國產(chǎn)品牌都是用來(lái)為芯片做缺陷檢測較好的設備品牌。